Литвиненко ВМ. ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ОЧИЩЕННЯ КВАРЦОВИХ РЕАКТОРІВ ДЛЯ ДИФУЗІЇ БОРУ У ВИРОБНИЦТВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ДІОДІВ. tech [інтернет]. 13, Березень 2024 [цит. за 09, Травень 2025];(6):223-9. доступний у: https://www.journals.ksauniv.ks.ua/index.php/tech/article/view/516